大氣等離子清洗機(jī)在微電子IC封裝行業(yè)有很大應(yīng)用發(fā)展的前景。其成功應(yīng)用依賴(lài)于優(yōu)化工藝參數(shù)，如工藝壓力、大氣等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體激發(fā)頻率和功率、時(shí)間、儀器氣體類(lèi)型、反應(yīng)室和電極配置、工件清潔放置位置等。

       制造半導(dǎo)體后期，因指紋、焊劑、焊錫、刮痕、污漬、灰塵、樹(shù)脂殘留、自然氧化、有（機(jī)）物等而產(chǎn)生。設(shè)備與材料表面會(huì)形成各種污漬，顯著影響包裝生產(chǎn)及產(chǎn)品質(zhì)量。采用大氣等離子清洗機(jī)，可以很容易地去除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的這些分子級(jí)污染，從而顯著提高IC封裝的可制性、可靠性和成品率。
       在晶片集成電路封裝生產(chǎn)中，等離子清洗工藝的選擇取決于后續(xù)工藝對(duì)材料表面的要求、原始性質(zhì)、化學(xué)成分和性質(zhì)。在芯片和微機(jī)電系統(tǒng)IC封裝中，在基片、基座和芯片之間有大量的引線(xiàn)連接。導(dǎo)線(xiàn)鍵合仍然是實(shí)現(xiàn)芯片焊盤(pán)與外部引線(xiàn)連接的重要手段。如何提高引線(xiàn)鍵合強(qiáng)度一直是行業(yè)研究的難題。
       高頻大氣等離子清洗機(jī)是一種高（效）、低成本的清洗方法，可以有效地去除氟化物、氫氧化鎳、有（機(jī)）溶劑殘留物、溢環(huán)氧樹(shù)脂、材料氧化層等。電弧清洗和粘接后，粘接強(qiáng)度和粘合張力的均勻性顯著顯提高，對(duì)提高粘接強(qiáng)度有較大的作用。引線(xiàn)連接前，可采用氣體等離子體技術(shù)清洗芯片接頭，提高了連接強(qiáng)度和成品率。據(jù)資料顯示，在對(duì)等離子清洗效率進(jìn)行研究時(shí)，不同公司生產(chǎn)的不同產(chǎn)品采用等離子清洗，使鍵合線(xiàn)抗拉強(qiáng)度增大幅度不同，但有利于提高裝置的可靠性。
       在芯片封裝中，大氣等離子清洗機(jī)中的等離子體在鍵合前對(duì)晶片和載體進(jìn)行清洗以提高其表面活性，能有效地防止或減小空隙，提高粘附性能。另外，增大填充物的邊緣高度，提高IC封裝的機(jī)械強(qiáng)度，減小界面間因熱膨脹系數(shù)不同而形成的剪切應(yīng)力，從而提高制品的可靠性和年限。